日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
簡要描述：
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2數字質量流量裝置采用具有出色穩定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現高精度和高速響應。出色的零點穩定性和快速響應。輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
產品型號：1 / 4F9 10SCCM N2
產品時間：2024-05-18
打印當前頁日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數字質量流量裝置采用具有出色穩定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現高精度和高速響應。
出色的零點穩定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
日本進口流量控制器流量計1/4F9 10SCCM N2
數字質量流量裝置采用具有出色穩定性的高速繞線傳感器和較小的比例電磁閥，并具有標準的通訊功能（RS485），可實現高精度和高速響應。
出色的零點穩定性和快速響應。
輸入/輸出信號為0-5V，電源為±15V。
電源連接器使用多功能的D-sub 9槽連接器。
通過旋轉旋轉開關，可以使用主機中注冊的氣體類型。
符合RoHS / CE標準。
引出單元是一種方便的單元，可以與質量流量控制器或帶有電纜的質量流量計一起使用，以使用質量流量的基本功能（例如流量測量和控制）以及流量積分功能和流量事件輸出功能。
產品規格
| 型號 | EX-250S-C |
|---|---|
| 電源電壓 | ±15V |
| 合身 | 1 / 4F900（126.6毫米） |
| 流動性 | N 2 |
| FS流量 | 10SCCM |
| 標定溫度 | 20℃ |
| 輸入信號 | 電壓輸入 |
| 輸出信號 | 電壓輸出 |
| 工作壓力 | 150?300kPa |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
| 閥門系統 | 比例電磁閥（未通電時關閉） |
| 目標氣體 | N 2 |
| 流量范圍 | 10SCCM |
| 控制范圍 | 2?100％（FS） |
| 反應性 | 1秒內的總流量控制范圍（在±2％FS之內），150kPa至300kPa |
| 準確度 | FS±1.0％ |
| 重現性 | FS±0.2％ |
| 工作壓差 | 50?300kPa |
| 大入口壓力 | 500kPa（克） |
| 耐壓性 | 980kPa（大） |
| 他漏率 | 1×10 -8 Pa ? m 3 /秒以下 |
| 容許環境溫度 | 5?50℃ |
| 精度保證溫度 | 15?35℃ |
| 儲存溫度 | -10?60℃ |
| 容許環境濕度 | 相對濕度10至90％（無凝結） |
| 氣體接觸零件 | SUS316，SUS316L，電磁不銹鋼（僅控制器），PTFE，FKM |
| 電氣連接 | Dsub引腳KFC標準（符合SEMI標準）HR-10A |
| 流量設定輸入信號 | 0至5VDC（輸入阻抗約1MΩ） |
| 流量輸出信號 | 0至5VDC（負載電阻10kΩ或更高） |
| 數字信號 | 通過RS485旋轉開關設置地址 |
| 所需功率（直流） | + 15VDC（±5％）100mA以下，-15VDC（±5％）150mA以下或+ 24VDC（±10％）180mA以下 |
| 安裝方向 | 水平推薦 |
| 機重 | 約500克 |
| 數量 | 1個 |
| 單位 | 件 |
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